DXS一3扫描电子显微镜电脑控制系统

　　DXS一3扫描电子显微镜于去年11月通过机械部鉴定，鉴定认为这是我国首次自行设计的电脑控制的高性能扫描电子显微镜。众所周知，扫描电子显微镜性能不仅取决于优良的电子光学系统，还取决于控制系统电气性能和自动化程度。

　　一、与传统的电气控制方式相比，电脑控制方式是以总线方式进行的，因此可以把控制电路组成模块结构，便于分块设计调试，在工艺上可取消直接式的开关控制，消除了机械噪声、总线方式又可大大减少电气走线，可靠性极好，电气工艺简单，设计方便，制作容易，便于批量生产。电脑控制方式能采用先进的电子器件，来增强仪器的功能和性能，提高系统自动化程度，使系统的智能化成为可能。

　　二、DXS一扫描电子显微镜控制系统采用Z一80为CPU，程序存储器20K，采用五块2764EPR0M，其中二块供用户功能扩展用。采用数字总线和模拟总线双总线方式，控制电路以模块结构设计，用插板方式相连，各功能模块电路模拟地线和数字地线单独布线，最后在总线上一点接地，高压与透镜地线采用光隔离器件隔离.控制面板采用功能键方式，七段数码管显示高压、放大倍数等，LED显示工作状态，成象采用二只长余辉显象管显示，二管可分别控制，显示不同的图象.可实现双倍放大，屏幕分割，显象管下端以二排字符显示，可显示高压、放大倍数、比例尺、日期、上下台、工作距离等，扫描有四档显示速度和四档照相速度(分4，8，16，325)，有Y调制图象，线扫描分析、点分析、平均浓度分析等。高压由面板的拨盘设定，0一40kV，每档IkV可调，一旦高压设定，软件就根据工作距离和高压值，自动设定物镜电流的值，并进行放大倍数的自动调整视频处理有微分，y校正，滤波等功能。设有自动亮度衬度(ABC)，自动消象散(DSM)、自动聚焦(AFC)，AFC功能使图象在105内自动聚焦，这三项功能增强了SEM自动化程序。系统还设有高压过流保扩功能，自启动电路使系统在受外电强干扰后仍能正常工作。

　　三、软件设计全部软件以280汇编语言编写，整个软件分系统控制、功能模块、调试维修软件三大部分，以模块方式编写，单项功能也以子模块方式编写，便于软件扩充修改和功能增强。调试维修软件能调试全部的控制对象设有静态和动态方式，调试和维修相当方便。

　　四、系统结构、软件流程图:(见后)

　　参考文献:周明德:微型计算机硬件软件原理与应用。

　　作者：唐崇丹王林振(江南光学仪器厂)