单点金刚石飞切技术的纵向纹路形成机理研究及抑制措施

简介

单点金刚石飞切技术目前是大口径KDP晶体加工最有效的方法,一次加工即可形成高精度元件表面,但加工后表面存在沿进给方向的纵向纹路,该纹路对元件的光学性能存在明显的影响。文中从纵向纹路的形成机理研究出发,通过调整机床不同部件的接触刚度,使纵向条纹的频率和幅值发生变化,从而提高元件的光学性能。实验结果表明,减小机床横梁与立柱之间的接触刚度时,纵向纹路的周期约为55 mm,幅值约为40 nm,满足了该晶体元件的性能指标。