橡胶软管物理特性参数对密封性的影响及改善建议

简介

在半导体设备中,有很多冷却水需要通过橡胶软管来输送,很多部位的橡胶软管是通过与宝塔接头配合形成循环水路。选型要求宝塔头的外径大于橡胶软管的内径,这样装配之后橡胶软管会紧紧的包裹在宝塔接头上起到密封的作用。如果两者之间的配合不符合要求,设备就会存在漏水的风险,这将对芯片生产厂家造成设备停机,影响生产。设备漏水的原因可能很复杂,存在诸多不确定因素,本文主要介绍橡胶软管物理特性参数对密封性的影响。