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空间分布压电驱动的多自由度微定位新方法

作者: 秦岚 蔡秀梅 彭慧 刘京诚 潘英俊 来源:压电与声光 日期: 2023-04-18 人气:2
空间分布压电驱动的多自由度微定位新方法
提出并研究了一种空间分布压电驱动的多自由度微定位新技术.采用多个压电驱动器的空间并列分布实现六自由度精密微定位.本文作者阐述了微定位原理,建立了载物台位姿与驱动器伸缩量之间的关系,介绍了微定位装置的构造.
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