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> 圆度测量
三点法误差分离测圆信号的精度分析
作者:
朱训生
刘国良
来源:
上海交通大学学报
日期: 2023-08-11
人气:3
对组合信号取全微分,分析组成该信号的各主要环节,实测其实际精度,用方和根法归纳出该组合信号的最大误差为±0.01μm,并提出了提高测试精度的途径。
关键词:
三点法
精度分析
误差分离
圆度测量
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