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三点法误差分离测圆信号的精度分析

作者: 朱训生 刘国良 来源:上海交通大学学报 日期: 2023-08-11 人气:3
三点法误差分离测圆信号的精度分析
对组合信号取全微分,分析组成该信号的各主要环节,实测其实际精度,用方和根法归纳出该组合信号的最大误差为±0.01μm,并提出了提高测试精度的途径。
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