根据扫描隧道显微镜(STM)的特点,将小波变换应用于扫描隧道显微镜的降噪、增强及融合方法进行了阐述.对于不同仪器和不同扫描样品的图像,选用不同的小波基函数和分解层数进行分解和重构,结果表明,利用小波变换对扫描隧道显微镜图像进行处理是有效的、可行的,图像质量得到明显提高.

扫描探针显微镜（SPM）作为一种广泛应用的表面表征工具,不仅可以表征三维形貌,还能定量地研究表面的粗糙度、孔径大小和分布及颗粒尺寸,在许多学科均可发挥作用.以纳米材料为主要研究对象,综述了国外最新的几种扫描探针显微表征技术,包括扫描隧道显微镜（STM）、原子力显微镜（AFM）和近场扫描光学显微镜（SNOM）等方法,展示了这几种技术在纳米材料的结构和性能方面的应用.

为提高扫描隧道显微镜微驱动器的响应速度和定位精度，提出了一种基于自适应理论的控制方法。微驱动器采用压电陶瓷驱动，在分析其结构的基础上，建立了驱动器的简化运动模型，利用最小二乘法对驱动器参数进行了在线辨识。把自适应控制理论引入到微驱动器的控制中，在参数自校正PID控制律的作用下，实现了PID控制器参数的自动整定。采用专用的压电陶瓷驱动电源，进行了位移的测试实验。结果表明，参考位移量为12．39μm时，相对于传统PID控制，动态响应时间由3s缩短到1．4s，稳态位移误差由3．2％减小到2．7％。

扫描隧道显微镜（简称STM）所采集到的隧道电流信号，不仅包含着表征样品的表面形貌和分子结构的有效信号，而且还隐含着整个扫描隧道显微系统的动态特性．针对STM采集的信号，运用短时傅立叶变换对其波形数据进行功率谱密度估计，对信号在频率域中的特征向量加以提取．结果表明：基于谱空间的特征向量，准确地分辨出了工频在信号中的干扰，也能有效地解释和分析STM系统的动态特性，进而认为存在一小阻尼系统对信号施以影响；此外，分析的结果可以为STM扫描过程的控制，诊断以及扫描图像的重建和解释提供有力的理论指导．

SPM通用平台是一套扫描探针显微镜开发工具系统,它提供了一种开发生产SPM新的思路和方法,使SPM成为通用、开放、兼容的仪器体系.本文介绍了SPM通用平台的原理、指标和在其上扩展扫描隧道显微镜、原子力显微镜等功能模块的方法,以及智能型SPM通用平台的研究思路.希望与相关领域的专家开展合作.