本文应用波动光学的原理，信寸论了眼及眼通过望远系统和显微系统瞄准时的瞄准筷差，给出了讨准铁差及分别使用清晰度法和消视差法的稠胶拱差表达式。该纽表达式具有简单、明了、便于应用的特点，它们与仪器的实际工作孔径密切相关，可以排除由于仪器的实际工孔径与标称孔径不一致而带来的计算澡差。

为了消减压印对准系统焦平面调整过程中由于机构机械不稳定性产生的对准误差，提出了拟合调整架摆动轨迹来进行软件补偿的方法。通过亚像素模板匹配算法对调焦过程中标记图像的坐标进行定位运算并分析了算法的有效性，结果说明该算法的理论误差〈0．1um。采用该算法计算随调整架摆动的标记坐标，对调整架的摆动轨迹进行了实验标定。分别考察调整架上升和下降时的摆动特性，结果显示，实验具有较好的重复性。以此为基础，建立了调整架的摆动轨迹模型及误差补偿方法，并对模型的预测补偿精度进行了实验研究。结果表明，通过预测调整架摆动轨迹并进行补偿，调焦系统机械不稳定性误差从2．84um减小到1．29um，可以满足2um的总体对准精度要求。