介绍了一种基于MEMS工艺设计的电容式矢量水听器。该矢量水听器的检测单元包括一个“三明治”结构敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路。通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路，使矢量水听器得到很高的灵敏度、分辨率。利用MEMS微机械加工工艺制作出矢量水听器，检测单元相互正交并进行了声学灌封。矢量水听器完成了水下驻波场测试，测试结果表明：该矢量水听器的接收灵敏度在1000Hz时达到一180dB（0dBre1V／μPa），动态范围大于120dB。

设计了换能器参数自动测量系统，以浮点DSP（digital signal processor）TMS320F28335为核心，具备扫频信号发射、A／D采集和通过串口与计算机通信的能力．系统能够根据显控软件设置，自动进行参数测量，并将测量结果回传至上位机．系统可以实现的自动测量项目包括：换能器发送电压响应级、接收灵敏度、空间指向性以及声学环境信噪比等．此外，显控功能还包括自动屏幕截图、Word报表生成、打印控制和错误提示等．系统的一系列测量过程能够全自动进行，在保证测量准确性的前提下，减轻了操作人员的工作强度，提高了效率．

介绍了一种新型的基于压阻效应的硅微仿生矢量水听器,详细叙述了该矢量水听器的结构设计方法,利用有限元软件ANSYS对矢量水听器结构进行了模态分析,采用振动台标定与低频校准装置测试相结合的方法对水听器进行测试,并给出了检测单元的加速度频响特性曲线和声压灵敏度曲线,以及矢量水听器在水下测试的接收灵敏度曲线和指向性图的测试结果。通过此实验方法,不仅验证了该矢量水听器设计的合理性,而且验证了它适用于低频检测,应用于水声探测具有一定的可行性。实验证明,该矢量水听器的接收灵敏度在500Hz时达到-189.6dB（0dB=1V/μPa）,并具有良好的“8”字形的指向性。