本工作研制一种具有大气压接口的单四极杆质谱仪。该仪器具有三级真空系统,与大气相邻的第一级真空接口基于加热的不锈钢毛细管设计;在第二级真空腔中采用射频高压驱动的方式远距离传输离子;第三级腔体放置四极杆和电子倍增器分离和探测离子,使用自制的控制系统控制仪器。基于此仪器,实现了大气压下电喷雾离子源、介质阻挡放电离子源离子化样品的检测,通过第一级腔体中的源内碰撞诱导解离获得了样品的二级子离子,增强了单四极杆质谱仪的定性能力。该仪器结构简单、成本低,可用于液相色谱-质谱联用分析和原位分析。

采用40kHz中频脉冲电源，利用电容耦合等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术，以六甲基二硅氧烷（HMDSO）为单体、氧气为反应气体，氩气为辅助气体，在PET薄膜表面沉积应用于透明高阻隔包装的氧化硅薄膜，并对其进行研究。在薄膜的制备过程中，为了了解氧化硅的形成机理，通过四极杆质谱仪对等离子体放电的气相中间产物及活性粒子进行原位检测；而通过傅立叶变换红外光谱仪（FTIR）及原子力显微镜（AFM）对沉积薄膜进行化学组成及表面形貌分析表征，探讨沉积过程中等离子体气相粒子的产生和反应对薄膜特性的影响。