在传感器日趋微小型化的趋势下，该文提出了一种扭摆式加速度计的结构，并对其进行了数学建模，分析了加速度输入时质量片扭转角的大小、力矩器产生的静电引力及支承梁的弯曲挠度和电容误差，给出了检测得到的加速度计的性能。表明，文中上述问题的分析思路是合理的，所设计加工出的加速度计试验样机已接近某些领域的实用要求。

扭摆式硅微加速度计量种用于测量运动物体加速度的微型惯性器件，在许多领域都有极其广泛的应用，是当今微米／纳米技术发展的一个主要方向。本文论述了结构组成，分析工作机理，探讨了提高灵敏度的途径，最后给出了制造工艺和测试结果。

文中详细提出了微硅扭摆式静电力平衡加速度计设计的基本理论，根据加速度计的性能指标，应用该理论可以确定加速度计的结构参数；测量电路和的回顾增益，再平衡电压等电气参数。