基于大规模集成电路加工技术介绍具有任意图形编码的二值位相光栅的制作 过程。其中包括振幅模母版的制作和掩模图形的转移两部位。针对制作的２５×２５扇出的Ｄａｍｍａｎｎ光栅，给出了实测结果。