在单光源、双光源、不同照射角及不同距离等条件下,测试了照射型莫尔轮廓法的光强分布。分析了影响光强分布的因素。

采用多面体和光电平行光管测试圆刻机分度误差，比较了１２、３６、７２面体的测试特点，人数据分析中可找一到一些造成误差的因素。