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磁致伸缩驱动器在干涉仪动态调整系统的设计与实现

作者: 何冰 曾立波 王先培 尹邦胜 来源:微计算机信息 日期: 2023-05-11 人气:2
磁致伸缩驱动器在干涉仪动态调整系统的设计与实现
基于超磁致伸缩材料的特性设计制作了一种用于迈克尔逊干涉仪定镜自适应校正的微位移驱动嚣,分析了驱动嚣的工作磁场,给出了位移输出的特性曲线。将其应用于激光千涉平台,可对定镜进行两个自由度的倾斜调整,并通过激光干涉信号进行反馈控制。对其发展起了极大的推动作用。
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