三点法圆度误差分离技术（ＥＳＴ）是成熟的圆度形状和回转误差的分离方法，然而在具体实施操作中，必须进行正反两次的快速傅里叶变换（ＦＦＴ和ＩＦＦＴ）。本文介绍一种新的方法；该方法同样基于误差分离技术的通则，但仅需在时域上直接对实测数据按简便代数式进行推即可进行分离虎，避免了ＦＦＴ和ＩＦＦＴ操作，因而更为方便，实时性也更强。

现代检测与补偿技术越来越要求测量的高精度和实时性,通过直接获取运动误差以避免误差残留的二次相移三点法,为运动误差的在线高精度检测提供了一条有效途径.通过对3个传感器的测量数据按照二次相移原则进行数据重组,在数据处理的首次操作时消除直线形状误差的影响,从而在反滤波基础上可以先行分离出直行运动误差的平移分量和转动分量.利用权函数对比分析,证明了二次相移三点法与先行分离形状误差的直线频域三点法在本质上的同源性和统一性.实验结果表明,该方法可以较好地分离出直行运动误差和直线形状误差.

精密、超精密加工技术的发展使得误差分离技术得到了广泛的研究及应用，并取得很大的进展。但以往对误差分离技术的研究，大多是针对具体误差的在线测量和分离的实现或是提高测量精度的措施，而对各种误差分离技术之间的关系及不同误差分离技术的共同点比如时域、频域分离方法的异同等研究不足。本文针对这一问题作较为详尽的分析，并从分离方法的传递特性入手，阐明误差分离技术时域和频域分离方法本质上的一致性，不同之处仅在于表达方式的区别。

详尽讨论了形状误差测量系统的体系结构，包括测量系统的一般构成，形状误差测量的采样逻辑，误差数据的存储结构，采样程序的设备无关性及程序界面等，给出了形状误差测量系统的基本框架及构造原则，并应用文中给出了的基本方法结合笔者从事的圆度，圆柱度，直线度，平面度形状误差的测量和分离研究课题设计出相应的形状误差测量和分离系统，实际应用表明，所述的体系结构适宜于各种形状误差的测量系统，并易于移植和扩充。