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双光楔高精度角度发生器设计

作者: 贺磊 袁家虎 李展 张建荣 来源:光电工程 日期: 2024-09-09 人气:22
双光楔高精度角度发生器设计
从折射定理出发,给出旋转双光楔的入射光线和出射光线之间的对应关系.据此提出可旋转双光楔角度发生器系统的设计方案,该方案利用光楔对光线的偏折来实现对一定视场任意角位置光线的获得.设计了能够提供满足10°圆视场的高精度角度发生系统.

高真空光刻样品CCD显微观察装置

作者: 陈元培 陈旭南 李展 高洪涛 陈献忠 来源:光学仪器 日期: 2023-12-05 人气:2
高真空光刻样品CCD显微观察装置
介绍了利用光场控制中性原子束制作微细图形的基本原理.针对具体的实验系统,设计并建立了一套用于高真空系统中原子光刻样品的CCD显微观察装置,该装置以CCD相机实时采样通过计算机自动图像处理直接显示和输出样品的微结构信息.与传统装置相比,该装置在实验初期摸索实验工艺参数方面具有非常重要的作用.
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