本文在双F-P腔光纤干涉仪测距原理和光纤探针粗糙度测量方法的基础上,提出了光纤F-P干涉传感器的高精度表面粗糙度测量原理.着重探讨了其测试方法.

提出了在物体表面粗糙度测定中干涉条纹处理的一种方法.该方法采用了空间频谱分析技术,先对干涉条纹进行快速傅立叶变换(FFT),然后用数字滤波器进行带通滤波,再经傅立叶反变换后,就得到了清晰的干涉条纹,为后续数据分析处理奠定了基础.