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> 光路准直
利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测
作者:
曹利波
来源:
红外与激光工程
日期: 2024-01-12
人气:27
简要介绍了双频激光干涉仪的组成和工作原理,并介绍了一种快速调整激光干涉仪准直的方法以及检测机床定位精度时的注意事项。
关键词:
激光干涉仪
定位精度
光路准直
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