介绍了3种测量机床导轨直线度的方法。阐述了其基本原理，并对其进行了分析和比较。

地面振动噪声是在地面高精度实验中一个重要的误差来源,安静环境下地面振动噪声水平的幅度为纳米量级,通常干涉仪无法直接测量。设计并制作用于了纳米精度测量的激光干涉仪反馈控制系统,该系统由激光器及稳频装置、干涉系统、检测及控制电路和位移反馈执行机（压电陶瓷）组成。采用一个长周期的折叠摆对水平方向0.3 Hz以下的振动频率进行隔振,利用该系统对0.3~3 Hz的低频地面水平振动谱密度进行测量了。测量结果表明在1 Hz处,水平地脉动噪声为10-9m/（Hz）~（1/2）量级。

文中论述了简化光路激光干涉仪的原理，并对该仪器的测试精度和在机械工程中的应用进行了详尽分析。

用于硅片台计量的二维测量干涉仪已被开发出来。它能同时测量线性位移和角位移，它被设计成置于密闭的环境中，减少了工作站质量，消除了热源，并能提供高分辨率和偏转速率。

文章简单介绍应用激光干涉技术进行洛氏硬度计量.洛氏硬度是通过测量压头在一定压力下,垂直压入硬度块的深度,而后经换算,得出该硬度块的硬度值.应用激光干涉技术,可精确得出压头压入硬度块的深度,从而大大减少测量不确定度.

半导体激光端点干涉测长法是利用半导体激光频率调制特性的一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法。本文介绍基于这种测长方法研制的半导体激光端点测长干涉仪实验的基本原理，构成，定标方法和测量结果。

介绍了电磁波在等离子体中的传播以及用外差干涉的方法测量托卡马克装置等离子体电子密度的原理，详细讨论了在ＨＴ－７超导托卡马克上用于密度诊断测量的五道ＨＣＮ激光干涉仪光路的主要光学元件，如各类分束片、托卡马克密度诊断窗口的和厚度的设计以及光学材料的选择，并在实验中得到了委 结果，验证了设计的合理性和准确性，五道的位置分别为沿小环圆截面－２０ｃｍ、－１０ｃｍ、０ｃｍ、＋１０ｃｍ、＋２０ｃｍ。

使用激光干涉仪能够很好地解决数控机床定位精度差的问题,然而调整激光器的方向,使激光束与所测机床轴的移动方向平行是一项很重要而且麻烦的工作。为快速准确调整激光器方向,在对激光干涉仪工作原理深入研究的基础上,分析了激光束偏心的原因,构建了以PLC为控制核心,驱动两台电机控制干涉仪平移与旋转运动,实现快速调整激光干涉仪激光束准直。实验结果表明,此设计节省了大量人力、时间的开支,能够控制干涉仪快速对准,具有工业应用推广价值。

为了解决双纵模双频激光干涉仪原有信号处理电路两路信号易直流漂移、不正交对干涉仪系统测量精度和速度的限制及调整光路观察信号不方便等问题，利用AD8302的良好高频处理特性，设计了一种新的基于AD8302的双纵模双频激光干涉仪信号处理系统，给出了方案的总体框图和信号处理流程图，详细地分析了其工作原理以及提高相位测量精度方法。由于器件相位测量的高分辨率，该系统也可用于高分辨率双纵模双频激光轮廓仪的信号处理。

将高精度步距规与激光干涉仪进行了比较,指出了影响激光干涉仪测量精度的相关因素。在检测数控机床定位精度中,往往采用步距规优于采用激光干涉仪。文中介绍了专家建议及现场使用步距规来校对激光干涉仪的步骤。