在介绍激光干涉仪的工作原理后，并用激光干涉仪对测量仪工作平台进行了误差检测。运用分段插补数学模型进行定位精度的补偿，得出了2组的实验数据，误差产生的原因以及证实了补偿的有效性。

干涉仪的零位确定问题,是激光干涉仪应用中的关键问题之一. 所提出的合成光源串联干涉仪方案,容易实现,可以保证较高的精度. 叙述了串联干涉仪的工作原理和多模激光二极管光源的合成技术,并进行了仿真计算. 结果表明,合成光源能够将降低光源的相干长度,有利于干涉信号中心条纹位置的辨别; 串联干涉仪能够解决干涉仪初始位置(或者零位)确定问题,为绝对式干涉仪的设计和研制提供了新的途径和手段.

随着数控机床应用的普及，采用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测也成为目前公认的高效、高精度的检测方法。但是不同的机床使用激光干涉仪检测的精度曲线会各不相同，因此想要提高数控机床定位精度，就需要对不同的测试结果给予全面而科学地分析，本文就雷尼绍产品在使用过程中遇到的几种机床误差曲线的误差源及解决方案提出分析，供更多关心数控机床精度检测和误差修复的人士参考。

在光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上，提出了一种扩大其测量范围的方法，使得在保持纳米精度的前提下，测量范围由半个波长扩大为125.56 μm，并讨论了进一步扩大测量范围的可能性。本方法得到了模拟计算和实验结果的很好验证。

采用绝对法进行正弦力校准,动态力由安装在振动台上的质量块产生,力值根据力的定义直接溯源到质量、加速度和时间.为了减少测量不确定度,质量块上的加速度分布必须进行准确测量.文中介绍了采用激光干涉法进行动态力校准的原理和信号处理方法,同时介绍了与德国PTB加速度实验室进行加速度测量的比对情况.结果表明,采用所介绍的正弦力校准方法可以提高校准的准确度.

介绍了一种新型多波长绝对距离干涉测量系统。系统采用633nm的双纵模He-Ne激光器和629nm的He-Ne激光器,组成三级合成波长链对较大距离进行精密测量,并作了误差分析。系统采用高稳定度的声光晶体对各波长分别进行偏频,再用外差探测法测量出光束通过参考光路和测量光路后的位相差。简要介绍了629nm的He-Ne激光器的设计方案。

简要介绍了双频激光干涉仪的组成和工作原理,并介绍了一种快速调整激光干涉仪准直的方法以及检测机床定位精度时的注意事项。

在激光浊角干涉仪中，由于角锥棱镜安置方位的不同，将导致该仪器角度测量范围的变化，本语文分析了角锥棱镜方向和位置对角度测量的影响，工比较和讨论了不同方案的优劣。

针对某低频水平振动校准设备的激光干涉仪,利用NI公司的多功能采集卡,采集激光干涉仪的调制信号及与其同相位的电容式位移传感器的输出信号.根据激光干涉仪调制原理,提出一种时域解调调制信号的方法.根据调制信号条纹的时域特性和它被限幅的实际特点,利用labview软件实现了信号的解调,并将电容位移传感器信号作为参考信号,还原解调后信号的相位,从而得到振动台高精度的振动波形.实验证明,此方法对连续振动信号的解调效果良好,具有较好的重复性和稳定性,精度可达到激光干涉仪发射激光波长的四分之一.

介绍了一种利用激光干涉仪修正测控仪器运动轴定位误差的方法，着重从误差数据采集、误差数据处理和误差修正软件的编写3个方面，阐述了误差修正方法的具体设计和实施过程。