通过摆线轮数控磨齿机介绍了数控机床直线轴的滚珠丝杆传动机构与回转轴转台的位置精度的测量方法,针对磨齿机的各轴定位精度提出了合理的误差补偿依据及方法,并通过数据验证分析其补偿效果。利用英国雷尼绍的激光干涉仪及各种光学镜组对西门子840d数控磨齿机进行实验,对测量的数据进行分析,结合其工作原理得到该机床误差补偿图表,再利用误差补偿技术对该摆线轮磨齿机各轴误差进行补偿。结果表明,要提高数控机床几何精度改善机床性能,对直线轴滚珠丝杆的螺距误差补偿和回转轴转角误差补偿是一种合理且经济的方法。

为检测10米光栅测长机导轨的直线度,采用双频激光干涉仪系统作为主要测量工具,以最佳平方逼近法计算10米光栅测长机导轨的直线度。根据双频激光干涉仪的测量直线度测量原理,结合直线度的评定方法,对10米光栅测长机导轨的直线度的测量方法进行了介绍。实验表明,采用双频激光干涉仪测量直线度的方法实用,较为准确、方便、直观。

分析高速机床上直线电动机驱动进给轴的优越性,构建了基于直线电动机驱动的2X-Y联动进给轴实验平台,给出了联动进给轴在XOY平面内的圆轮廓误差的评定方法和误差值的两个表现形式：圆度的偏差和均方根差。探讨了应用双频激光干涉仪测量实验平台圆轮廓误差的测试原理和方法,并对2X-Y联动进给轴圆度的偏差和均方根偏差进行测试实验研究,测试结果表明圆度的偏差和均方根偏差都随进给速度增大而增大,随进给加速度增大而减小,圆轮廓插补过程应当避免1m/s2以下的过小进给加速度。

本文从激光干涉仪的工作原理出发,对激光干涉仪测长中存在的各种误差源构成进行分析,从而提出了测长精度校准的不同方法特点,通过理论分析和试验总结出测长精度校准的科学合理的方法.

使用激光干涉仪测量谐波减速器输出端受力弯曲后的偏转角,电机带动钢丝绳施加弯矩,实现谐波减速器等部件在高低温环境下的弯曲刚度测试,解决角度编码器不能适应极端温度条件的问题,并可消除测试设备自身变形引起的系统误差对刚度测试结果的影响。目前测试的温度范围为-65℃～＋80℃。

在大多数托克马克上，远红外激光干涉仪是等离子体诊断中的一种重要的装置。本文介绍了用远红外ＨＣＮ激光干涉仪测量等离子体电子密度的原理和激光干涉仪结构，并给了了首次在我国第一以大型超导托克马克ＨＴ－７装置上测到的中心弦等离子体电子平均密度。

误差补偿已成为提高数控机床精度的重要途径之一。机床误差补偿效果好坏取决于误差元素模型。所以，误差补偿的首要任务是要精确和有效地辨识各误差元素并建立误差模型。介绍利用激光干涉仪对机床误差检测和识别的方法，建立了基于该方法的几何误差模型。

利用纳米测量机(NMM)和原子力显微镜(AFM)实现了大范围的计量型AFM,测量范围可以达到25mm× 25 mn×5mm,分辨力为0.1 nm.纳米测量机扩展了普通AFM测头的测量范围,减小了压电扫描器固有特性的影响.运动全范围内的自适应误差补偿通过5个自由度的闭环操作得以实现.系统的高精度是通过3个微型激光干涉仪的零阿贝误差设置,一个表面传感AFM测头以及两个角度传感器实现.系统具有4种工作模式,其中第4种为最佳工作模式.实验结果表明系统具有高精度和大范围的特点.

通过对弹性固体表面的微观形貌进行建模,推导出切向应变与法向应变存在的线性关系,利用高精度激光表面粗糙度外差干涉仪对工件表面的法向应变进行测量,达到测量切向应变的目的,从而有助于新型非接触光学应变测量仪的研究.

摘要：超精密加工的应用日益广泛，其加工精度和表面质量要求都很高，需要相应的超精密检测手段予以保证。激光干涉仪、光栅、X射线干涉仪、扫描探针显微术、电容电感传感器及F-P干涉仪等可以实现纳米测量并已经商品化；电容传感器、X射线干涉仪、F—P干涉仪等少数仪器分辨率可达或接近皮米级，但因其测量范围通常较小，在应用中受一定限制。文中针对几种实际应用比较成熟的激光干涉仪，就其应用领域、技术参数、功能特点等予以介绍。