基于平面度、直线度、平行度的测量及评价原理,对有效行程2 000 mm精密导轨平行度进行测量,并对导轨工作台单个滑块及组合滑块的角度偏差、直线度及导轨平行度进行理论分析和实验验证。结果表明在相同的环境和装配工艺等条件下,水平面内滑块的角度偏转方向和趋势基本一致,滑块的最大角度偏差相近;组成导轨工作台的4个滑块在水平面内直线度曲线趋势相同均为中间凹,竖直平面内直线度受装配锁紧力和角度偏差的影响,角度偏差的转动方向相同,但趋势稍微有差异;组合滑块直线度的方向与单个滑块直线度的方向一致,因滑块组合后受力的平均效应作用,在竖直面和水平面内组合滑块直线度比单个滑块直线度好;以基准导轨与副导轨的直线度斜度代数运算的绝对值评价导轨间平行度的方法,可为精密导轨平行度的测量提供依据。

介绍了外置式激光跟踪测距系统的原理,采用球形跟踪伺服机构的设计思想,设计了两维旋转跟踪伺服机构,并进行了试验研究.试验结果表明该机构具有结构简单、跟踪精度高、动态性能好的特点.

<正> 在米范围移动距离中,纳米级的高分辨测量系统,获得越来越重要的意义.然而,至今这类测量系统大多数不轻便且价格昂贵.本文介绍的是一种半导体激光干涉仪全新的设计方案,其结构简单,传感器十分轻便(直径17mm),具有至今未达到的效率,是距离、力、硬度或折射率理想的测量工具.

HP公司推出的新产品5527A型双频激光干涉仪精密测量系统,采用数字控制HP-10936A伺服轴板为核心组成的闭环位置控制线路,取得了亚微米级的定位精度和重复精度。重点介绍HP-10936A伺服轴板的功能,推导出具有前馈补偿PID控制器的传递函数表达式,分析PID根轨迹图上零点的位置对伺服系统稳定性的影响,介绍控制器的调试方法,以及采用HP-3562A动态信号分析仪,可实现伺服轴板的快速调试,给出闭环位置控制系统的控制程序。

该文介绍坐标测量机与激光干涉仪对步距规进行校准的测量原理和测量过程,测量结果与DKD证书进行对比,并分析测量结果的不确定度。

随着数控机床应用的普及，采用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测也成为目前公认的高效、高精度的检测方法。但是不同的机床使用激光干涉仪检测的精度曲线会各不相同，因此想要提高数控机床定位精度，就需要对不同的测试结果给予全面而科学地分析，本文就雷尼绍产品在使用过程中遇到的几种机床误差曲线的误差源及解决方案提出分析，供更多关心数控机床精度检测和误差修复的人士参考。

本文介绍用激光干涉仪测定材料温度线膨胀系数、弹性模数、尺寸稳定性和导热系数的方法。

0引言 激光干涉仪因其具有较高的测量精度而被广泛地应用.在使用激光干涉仪(以Agilent 5529A激光动态干涉校准仪为例)测量工件的实际尺寸(长度)时,需要用测头去探触工件,以取得工件的实际位置,因此需要有一触发装置,来感知测头是否探触了工件.本文设计了一个触发电路,能够使激光干涉仪实现这一功能.

通过对双频激光干涉仪的原理、结构、双频产生机理进行分析，阐述激光干涉仪在光刻设备中的实际应用，探讨激光干涉仪技术。

在使用激光干涉仪时,光路校准过程比较困难,需反复调整,耗时极长,严重依赖操作者的技术水平及经验,导致检测效率大大降低。通过对雷尼绍XL-80激光干涉仪检测的机床直线轴Y轴的光路进行分析,建立被测轴的齐次坐标变换误差模型,利用机床Y轴移动距离,再借助随着光点从光靶中心移动到光靶边缘的固定距离,求解与被测轴Y轴位置无关的激光发射器偏摆和俯仰角,以及间接得到激光器和反射镜位置偏移误差和光点在坐标系间变换的距离。通过建立的误差模型求解无法直接测量的分光镜与反射镜绕各自本身垂直底座轴线的偏摆误差,调整各部件,快速准确地完成光路校准。