目前国际上Ｘ射线干涉仪所采用的微动工作台均采用对称式柔性铰链结构，其缺点是侧 滑角大，严重影响干涉信号的对比度，很容易产生干涉条纹的记数误差。为此提出了非对称结构微动工作台的设计思想，并引入有限元方法进行了结构参数优化，研制了整体式Ｘ射线干涉仪。理论分析和实验表明：利用非对称结构研制的Ｘ射线干涉仪，分析器的侧滑角显著下降，干涉信号的对比度大大提高，更适合Ｘ射线干涉纳米测量的要求。

介绍扫描Ｘ射线干涉仪在当前纳米测量技术中的重要意义，阐述了该技术的基本原理，全面介绍发国外在该领域的研究现状，并对影响纳米影响的扫描Ｘ射线干涉技术的主要因素进行了分析。