介绍了新型共平面精密二维平台的机械设计与精密测量系统的研发.机械结构引入共平面理论,使得X方向和Y方向的导轨面在同一高度平面,减小了Z向阿贝误差和累积误差,兼顾对称设计,减小力变形、热变形;研制出高精度线性衍射光栅干涉仪,以光栅衍射原理和偏振光学为理论基础,配合信号细分原理,使得该系统可以达到纳米级分辨率.

介绍了一种新型纳米三坐标测量机二维定位平台的结构设计；平台设计了无爬行的磁浮-滑动复合导轨；引入了“共平面“的导向模式，实现近零阿贝误差；并对二维定位平台力平衡和系统热效应作了优化设计。计算和实验结果表明，平台能有效解决低速驱动时的爬行问题，实现微小步距进给，满足微纳米级定位平台的要求。

对纳米超精密磁悬浮二维定位平台进行了研究,平台采用共平面结构设计模式、磁悬浮驱动方式。在分析了永磁阵列长度、线圈电流和悬浮位移对悬浮稳定性的影响的基础上,确定了精密磁悬浮二维定位平台的主要参数,并进行了动态响应仿真,仿真结果表明所提出的设计方案能满足系统精密定位要求。

介绍了一种新型纳米三坐标测量机二维定位平台的结构设计。打破了传统二维定位平台堆栈的结构形式,引入了“共平面”的导向模式。经理论研究计算,能实现近零阿贝误差,满足微纳米级定位平台的要求。