微器件的装配并不是一个新兴的领域,但随着微加工技术、显微技术和集成电路技术的发展,微装配概念发生了根本性的变化,产品的范围和应用领域被拓宽,出现了许多新的技术,它的发展是与微机电系统(MEMS)、纳米技术(Nanotechnology)密切相关的.本文对微装配技术的发展现状进行了综述,介绍了微装配的特点和使用的许多新技术.

本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点，并从微制造技术、微器件与系统及激光机电系统的应用等几方面简要介绍了国内外发展现状。我国微光机电系统的研究起步并不算晚，近年来成果十分显著，但要缩小与世界先进水平的差距，还需多方面的努力。

微器件装配技术是微机械的关键技术之一，本文从微器件装配系统的特性和功能出发，提出了一套微装配系统设计方案，并对系统各个组成部分进行分析，介绍了系统实现的方法。