微器件的装配并不是一个新兴的领域,但随着微加工技术、显微技术和集成电路技术的发展,微装配概念发生了根本性的变化,产品的范围和应用领域被拓宽,出现了许多新的技术,它的发展是与微机电系统(MEMS)、纳米技术(Nanotechnology)密切相关的.本文对微装配技术的发展现状进行了综述,介绍了微装配的特点和使用的许多新技术.

为了跟上呈指数增长的信息量,高新技术应用于国防系统的速度正在加快.应该说保证国家安全和全球稳定的关键是一个国家军事力量的优势,这种技术领先并不能仅仅依靠对高技术信息的保护.在冷战后期,军队还必须能够适应各种特殊环境并能在各个领域灵活作战--太空、海上、陆地和信息领域.因为技术革新可以作为军队转形的驱动力,所以在防御研究与发展以及技术向国防平台转化的投资正大幅度增加.军事应用中的最关键技术之一就是微机电系统(MEMS),它在现代军事行动需要的战略领域具有广泛的应用.

运用有限元软件ANSYS并结合刚度矩阵算法对一种高g值加速度计结构进行了应力分析和模态分析,得到了在50000gn值的冲击下加速度计的应力、最大位移、模态响应,表明该结构能够在高冲击环境下安全工作.

本文讨论了美国陆军航空兵和导弹部队司令部(AMCOM)正在开发研究的微机电系统(MEMS)技术的最新进展.近年来,工业用低成本、低功率微型器件(从简单的温度计、压力传感器到内胎加速度计)目前技术的成熟水平已为开发研究军民两用MEMS器件奠定了坚实基础.AMCOM早期从事的MEMS技术开发着重于惯性MEMS传感器,但最近启动了一项新的陆军(联合)科学和技术目标(STO)研究项目,目的是研究开发具有中等角频率传感器分辨率且低成本的惯性组件,用于测量导弹姿态的偏航角和旋转滚动速率.这项举措极大地影响了美国国防先进研究计划署(DARPA)和其他政府部门,使其致力于研究开发坚固耐用的实验性惯性MEMS器件.在过去的2年中,AMCOM的MEMS研究范围不断地扩大,包括了用于导弹正常状况监测的环境MEMS传感器、射频MEMS器件、用于光束方向控制的光学MEMS器件以及用于光电子器...

综述了微机电系统的特征及其应用前景.介绍了微机电系统陀螺的结构、原理及其在武器系统中的应用和研究开发动向.

微转子枢轴是MEMS（micro-eleclro-mechanical system）旋转机械中的主要驱动部件之一，在系统高速运转过程中会受到严重的摩擦磨损影响。文中采用统计学方法和分形方法分别分析微尺度效应对MEMS磨损的影响，建立半球形枢轴的数学模型，并分析其磨损率与摩擦力矩，探讨枢轴结构参数与操作参数对系统磨损特性的影响。仿真结果表明，尺度减小，磨损系数变小，增大载荷或增加微枢轴旋转次数均会加剧磨损程度。

评述了当前主要的MEMS微制造技术方法及特点,综述了基于快速成形的MEMS微制造系统的基本原理和基本结构,目前所能达到的精度与应用典型实例,微制造技术的优越性与局限性.对最新发展的每一层面一次曝光的高速快速成形MEMS微制造系统原理与研究示例进行了介绍.

对垂直于衬底表面运动的微平面构件产生的空气挤压阻尼进行研究.从非线性修正雷诺方程出发,计入稀薄气体效应,建立微平面空气挤压理论模型,用有限差分法进行求解.研究揭示了在谐振挤压运动周期内挤压膜的性能变化.研究发现,气体稀薄效应必须在理论分析模型中计入,否则,将高估空气阻尼的影响.微构件平面尺寸增大将增大挤压阻尼力,且阻尼力的增大速度大于微构件面积的增大速度.谐振频率的提高将显著增强空气阻尼效应.

为了提高微机电系统中微执行器的作用距离，设计了一种全硅结构的微型柔性力位移传动机构，用于放大微执行器的输出位移。建立了传动机构的简化力学模型和有限元模型，并对机构性能的影响因素进行了分析。用深层反应离子刻蚀工艺在硅隔离衬底上成功制备了电热微执行器-微型柔性传动机构样机，并进行测试。结果表明，柔性力-位移传动机构能够有效地放大微执行器的输出位移，实测放大倍数达到18．9，可以极大地扩展微机电系统微执行器的应用范围。

微机电系统（MEMS）是基于微机械或微电子技术的微型机电器件或系统,主要包括微传感器、微执行器和微系统等。MEMS由于尺度小,集成度高,功能灵活强大,使人类的操作、加工能力延伸到μm级空间,同时作为新兴的高技术产业,已成为世界各国政府竞相争夺的技术制高点之一。介绍了世界上部分国家和地区在推动MEMS发展方面的各种政策措施,并对我国MEMS的发展具有启示作用。