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新型压电精密步进旋转驱动器

作者: 刘建芳 杨志刚 赵宏伟 程光明 来源:吉林大学学报(工学版) 日期: 2023-08-16 人气:27
新型压电精密步进旋转驱动器
提出一种新型的压电精密步进旋转驱动器。该驱动器采用仿生运动的原理,以定子内箝位的方式和均布薄壁柔性铰链微变形结构,解决了以往压电精密驱动器箝位不牢固、旋转步进频率较低、行程小、分辨率低、速度低、输出不稳定等问题。研制的精密旋转驱动器能够实现高频率(30Hz)、高速度(380μrad/s)、大行程(〉270°)、高分辨率(1μrad/step)、且输出稳定,大幅度提高了压电步进旋转驱动器的驱动性能。该驱动器在精密运动、微操作、光学工程、精密定位等精密工程中有广阔的应用前景。
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