为了减小扫描系统测量误差，可以利用半导体激光器注入式调频装置和光栅来建立扫描系统。通过改变注入电流来改变半导体激光器的输出光频，使输出光入射在光栅上，随着频率的改变，衍射光的衍射角会发生改变，进而衍射光点的位置发生改变，从而实现无机械光点扫描，能够消除扫籀测量过程中机械抖动和振动带来的误差。