该文介绍了利用ＰＳＤ测量直管不直度的新颖方法，利用频谱分析的方法分别对不直度理论模型和实验数据作了分析，得出了不直度信号具有低频占优的频谱特征的结论，并由此提出了利用Ｈａｎｎｉｎｇ低通数字滤波器除高频噪声，从而解决了直管不直度曲线这种空域信号无法利用电学滤波的困难。

针对常规非球面检测技术存在的问题,特别是测量高精度工件表面具有一定的局限性,提出一种非接触式测量技术,即自动对焦测量技术.自行设计了一套偏心光束对焦系统.光路采用激光作为光源,一维位置敏感器件PSD作为光电探测器.激光、柱面平凸透镜和反射镜构成偏心光束对焦光路.电路分为PSD信号处理电路和电动机驱动电路,具有电压放大、消除地面干扰和滤波等作用.

本文利用连续型光电位置探测器ＰＳＤ（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）作为传感器，以重力方向作为竖直基准，构成了一种全方位高准确度水平仪，能实时地给出待测平面的倾斜角度和倾斜方位，具有量程可调结构紧凑、应用范围广等特点。

为了检测大距离多孔系零件的同轴度,采用激光准直技术与光电检测技术,设计一个多功能自定心综合测头系统。该测头由三爪自定心机构、光电编码器、棘轮和直流电机等部件组成,通过逐次采集大距离多孔系零件孔径内部径向截面尺寸和圆心位置信息,通过同轴度最小包容算法和误差补偿系统,对被测零件孔径进行同轴度误差的评定,并且可以实现对零件整体参数进行记录,解决了大距离多孔系零件同轴度检测难和不易返修的问题。

精密机械加工业的发展对位置检测提出了更高的要求.Duolateral PSD(Position Sensitive Detector)克服了lateral PSD的测量错误率高、非线性严重等不足.系统实验的测量不确定度评定结果表明:基于Duolateral PSD的光位置测量系统具有位置分辨率高、测量精度高、性能稳定等特点,有广泛的应用前景.

针对大型环形平面尤其是非连续平面(带孔、有槽、中间有凸台子、中间间断、异形平面)平面度的检测,研制了一种新型测量设备—激光平面度仪。该仪器采用了激器、五棱镜与转台组合产生基准平面,以PSD作为探测器;通过测量被测点与基准面的高度差获取平面度数据。该仪器的测量不确度为4.6μm。

　文章介绍了利用新型光电位置传感器PSD进行便携式激光准直仪的设计思想,详细分析了激光器、PSD信号调制电路及数据采集处理系统的设计以及影响仪器精度的主要因素。

本文提出了一种高精度激光电子二维倾角测量技术,该技术利用液体表面多次光反射,将倾角变化转换成激光光斑的位移,并通过多次光学反射实现光学放大,从而实现了倾角和倾角变化的高精度测量.利用本技术实现的倾角测量仪器具有测量精度高、体积小等优点,经过标定试验系统测量精度达到2.5″.高精度激光电子二维倾角测量系统可广泛应用于水坝安全监测工程、各种建筑和检测领域.

本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统。该系统通过光学方法对微位移量进行放大，光学放大倍数高，该系统的理论分辨率可达4nm，实际测得静态分辨率小于10nm。信号处理采用基于高精度一维PSD的信号探测电路，并且通过设计有效地抑制了噪声和干扰。实验中使用PZT作为被测物的微小位移驱动器，与电容测微仪JDC-II所测数据进行了验证比较，系统所测得的数据证明了其正确性和可行性。并且该系统受温度影响小，结构简单，便于使用MEMS技术集成和微型化。

讲述了用PSD构造柔性臂末端振动测量系统的设计与实现过程 ,包括测量原理 ,光学系统的构造 ,PSD的后续处理电路和系统标定等。介绍了一个基于PSD的双连杆柔性机械臂末端振动的测量系统及实验结果。测量准确度达 0 .1mm。