探讨了光学元件表面微观轮廓统计特征参数的基本性质，计算方法及其相互关系；测试了大量各类光学系统，不同材料元件表面微观轮廓特征参数，由此了常用光学同观轮廓特征和轮廓参数的量值范围及其特征。

较全面地介绍了用于表面微观轮廓测量的几种高分辨率甚至可达亚纳米的光学测量方法及其最新进展。文中重点描述了以扫描共焦显微检测法、离焦误差检测法为代表的光触针法，以ＴＯＰＯ轮廓仪、Ｎｏｍａｒｓｋｉ显微镜，外差干涉轮廓仪，双焦干涉轮廓仪和同轴干涉轮廓仪为代表的干涉同量法和以扫描近场光学显微镜及光子扫描隧道显微镜为代表的近场光学法三种适用于表面微观轮廓测量的光学测量方法，分别介绍了其工作原理、特性，发展现