分析影响正弦相位调制半导体激光干涉仪测量精度和系统分辨力的因素,提出了用分布布拉格反射半导体激光器DBR LD实现高分辨力亚纳米精度测量的方案.理论计算表明,DBR LD的波长连续调制深度比F-P腔LD高一个量级.指出由于DBR LD的特殊结构可通过简单的反馈回路稳定输出光功率,有效地避免了光强波动对测量精度提高的限制.

正弦相位调制（SPM）干涉测量技术用于表面形貌测量时，需要帧速高于300frame／s的图像传感器，同时要求调制信号频率与图像传感器帧速成确定的整数倍关系。提出一种基于低速CCD（30frame／s）的帧速可调的高速图像传感技术，通过控制每帧像素总数提高CCD帧速，研制出一种高帧速图像传感器，帧速可达300～1600frame／s，且每帧大小连续可调。将该CCD传感器用于正弦相位调制干涉泰曼一格林干涉仪，测量镀膜玻璃板表面形貌，当CCD图像传感器的帧速与调制信号频率呈16，8，4倍的关系时，得到玻璃板表面形貌的轮廓平均算术偏差Ra小于1．8nm，重复精度优于3nm。