利用光栅作为传感元件进行位置测量的原理是:用一对计量光栅作位移传感器，通过对莫尔条纹的计数测出移动光栅的位移量。随着光栅刻制技术的发展和莫尔条纹细分技术的不断完善，工业计量领域中的光栅技术得到了飞速发展。

利用多轴运动控制卡、直流伺服系统以及高精度光栅测量技术实现了对加工零件的外形尺寸的测量及对测量结果分析处理的三坐标测量系统。介绍了该系统的基本原理、结构和其在工业自动化生产中的重要意义。