为减小双腔并联压电泵的泵体体积，采用新的设计方法设计了一种新型层叠型双腔并联有阀压电泵。将层叠型与一字型双腔并联泵的泵体体积进行比较，前者的体积为38400mm3，后者体积为59904mm3，前者是后者的0.64倍。分别以水和空气为介质对2种结构压电泵进行输出性能试验，试验结果显示：层叠型输送气体流量和输送液体压力好于一字型，最大输送气体流量为3834mL/min，最大输送液体压力为21.2kPa；而输送液体流量不及后者，最大输出流量为744mL/min。结果表明，层叠型结构极大减小了双腔并联压电泵体积，并在输出性能方面有所提高。

为设计出适用于压电泵的被动截止阀，对压电泵用阀的设计要求和阀的工作条件进行了理论分析与阐述，并应用上述理论分别设计了悬臂梁阀、轮式平板阀和伞形橡胶阀等三种不同的结构压电泵用阀。理论分析了三种阀的静态过流特性，确定了各种结构尺寸因素对阀工作性能的影响。建立了测试被动截止阀性能的试验方法，并对所设计的三种阀的最小开启压力和静态过流能力进行了试验测试。试验结果表明，所设计的三种阀在0．2kPa工作压力时都已开启工作，在静态过流能力上橡胶伞形橡胶阀与轮式平板阀比较接近，悬臂粱阀最差。将三种阀安装在结构相同的压电泵中，测试了安装三种阀泵的输出能力，结果显示，安装伞形橡胶阀压电泵的输出流量最大，轮式平板阀次之，悬臂梁阀最差。