介绍了一种利用压电陶瓷直接驱动的压电伺服阀，其机械结构简单、抗干扰能力强，具有高于传统电磁式伺服阀的频宽和分辨率。应用有限元法分析了柔性铰链的结构特性，对压电叠堆的静、动态特性进行了理论分析，并制造了压电直接驱动式伺服阀样机，进行了静、动态性能测试。测试结果表明：该压电伺服阀可以满足现代精密高速控制系统的需要。

提出一种利用压电陶瓷片直接驱动的伺服阀，分析了双压电晶片的静、动态特性，制造了双晶片直接驱动式伺服阀样机。该伺服阀具有高于传统电磁式伺服阀的频宽与分辨率，它的机械结构简单，抗干扰能力强。