为了能精确测量出晶体厚度，利用晶体的双折射特性，采用剪切干涉法来测量双折射晶体的厚度，从理论上推导出其实现的可行性，并结合实验验证了测量系统的具体实现过程及计算厚度的算法。结果表明，该方法可用来测量厚度为厘米量级的双折射晶体的厚度，测量的均方根误差小于20nm。

介绍了一种基于多普勒效应的可进行动态微位移测量的激光微位移测量系统.该系统以He-Ne激光器为光源,配以干涉系统移动方向判别及分频系统、CCD视频信号的高速动态采集系统、微机处理系统及干涉图处理软件包等.与传统测量方法相比,其精度、灵敏度及稳定性都有较大提高,并实现了微位移的全自动测量.

三平板剪切干涉仪是环路剪仪中最简单的一种，它具有基本等光程、剪切量连续可调、两出身光束恒相互平等等特点。利用三平板剪切干涉仪对激光器出射波面质量进行检测，探讨了由剪切干涉图复原原始波面的1阶微分法，编制了专家辅助软件系统，为光机型的三科板剪切干涉仪配置了实时图像采集、处理系统、实现了光、机、电、算相结合，融硬、软件于一体的数字波面剪切干涉仪，并通过实验验证了方法的重复性精度。

提出了一种引入He-Ne激光回馈的双光束干涉系统,并在理论和实验两方面进行了研究.实验中对系统中的干涉信号及激光器尾光功率变化同时进行探测.发现当干涉仪的主回馈镜移动时,激光器尾光信号是正弦形波形,而干涉仪输出的是以双峰为一个周期的信号,双峰中一峰总是高于另一峰,并且当主回馈镜移动方向改变时,同一周期中两峰出现的顺序也随之改变.对实验现象进行了理论分析,并模拟出干涉信号及激光自身功率的变化曲线.理论分析及模拟结果与实验结果完全吻合.讨论了利用发现的现象进行测量的可行性,所提出的测量方法易于实现.

利用有限元法模拟了脉冲激光作用于单层铝板表面,由热弹机制产生超声波及其传播过程.针对相同厚度而含有不同深度的表面裂痕与给定埋藏深度的亚表面裂痕的单层铝板进行了对比计算,初步得到了声表面波经过表面裂痕及其亚表面裂痕时产生的反射及透射波形的特征;同时基于Wigner-Ville分布的时间-频率分析,得到了在裂痕前、后激光激发的瞬态表面波形的能量在时间-频率平面内分布的情形,并就时-频分析结果提出了不同深度的表面裂痕与亚表面裂痕对声表面波的声谱特征产生的显著影响,为激光超声的无损检测技术走向定量化提供了初步的理论依据.

本文从理论上分析了利用光栅实时测量激光波长中的能量及信噪比，提供了实验的图象处理阶段照片及数据处理结果，并从能量角度对实验结果进行了讨论。

绝对距离干涉计量术是６０年代后期兴起的一种以多波长激光为基础的无导轨大长度测量技术。本文在详细介绍该技术原理的基础上，回顾了该技术的历史，分析了该技术的发展现状，展望了该技术今后的发展趋势和可能的发展方向。

分析了电调频半导体激光干涉仪的长度绝对测量原理，介绍了干涉仪的基本结构。实验结果表明，该干涉仪的绝对测量范围０．３－１．５ｍ，测量误差为０．１－０．３ｍｍ。

本文对单轴晶体棱镜的分束角进行了研究，并且报导一种特殊设计的双渥拉斯顿单轴晶体棱镜具有高度对称的分束角，这种对称性与波长和单轴晶体的材料无关。

为了使双频激光干涉仪的高精度和可靠性能够在当前急需解决的大尺寸高精度同轴度，直线度测量方面有效的发挥出来，有必要在双频激光干涉仪的信号处理方面采用比相技术，为此，需要稳定Ｚｅｅｍａｎ激光的频差。本文提出了一种基于８０９８单片机系统的智能化稳频差方案，不但保证了频差的稳定性，而且每次开机还能自动搜寻频差极值，从而保证了光频的复现性。系统经过实验验证，频差变化小于５ｋＨｚ／５ｈ工作稳定可靠，可以满足比