提出了一套对椭偏仪的测量误差进行有效修正的方案，设计了一个Windows版的椭偏仪测厚数据处理软件，并在该软件中嵌入了对测量数据的误差进行修正的方法，使椭偏仪的最终测量结果更加精确。制作了30片厚度梯度分布的标准样片（厚度20nm～1μm），用于从“软”、“硬”件两个方面对椭偏仪进行误差修正，使最终的误差小于1％。本文所提出的修正方案具有一定的普适性、实用性。

设计并实现了一种用硅双结色敏器件作为探测器，单片机作为控制器，PC作为处理器和显示器的光功率、波长同步测量系统。利用PC对信号进行高速处理，系统具有低成本，高精度，易控制和易扩展的优点。