提出了一套对椭偏仪的测量误差进行有效修正的方案，设计了一个Windows版的椭偏仪测厚数据处理软件，并在该软件中嵌入了对测量数据的误差进行修正的方法，使椭偏仪的最终测量结果更加精确。制作了30片厚度梯度分布的标准样片（厚度20nm～1μm），用于从“软”、“硬”件两个方面对椭偏仪进行误差修正，使最终的误差小于1％。本文所提出的修正方案具有一定的普适性、实用性。

柔性三坐标测量臂用于大尺寸工件的高精度检测及逆向工程，是现代制造业产品精度检测的重要设备。如何做好和完善测量臂误差的分析、检测和补偿，成为提高测量臂测量精度的重要问题。提出了用高精度正交三坐标测量机校准柔性三坐标测量臂关节误差的新方法。通过分析测量臂某一关节的所有几何误差，建立其数学模型；利用正交三坐标测量机和测量臂分别对30个标准球（均匀分布在一个圆上）进行点位测量，测出球心的标称值和实测值，建立了该关节几何误差补偿模型；对工件进行点位测量并进行误差补偿。实验结果表明，通过该误差补偿方法，其最大测量误差从0．04mm降到了0．003mm，提高了柔性三坐标测量臂的测量精度，同时验证了该误差补偿方法的正确性和有效性。

激光跟踪仪测距精度取决于激光干涉仪（IFM）和激光绝对测距仪（ADM）的精度，就目前技术水平而言，IFM测距精度远高于ADM测距精度，固此需要对ADM测距误差进行修正。本文采用三次样条函数对激光跟踪仪全程ADM测距误差进行修正，并与线性误差修正方法进行了对比，结果显示三次样条函数能够更好地拟合误差曲线，改善修正后残余误差的均方差，均方差为0．007mm，优于最小二乘直线拟合，从而提高激光跟踪仪测距精度和空间测量精度。

本文提出绕组温度计电热元件温升误差的一种修正方法,该方法是通过调整电热元件加热电流来实现的,具有实用、有效的特点.文章详细说明了该方法的原理并给出了一修正实例.

简单活塞式压力计是由专用砝码直接作用在活塞上的活塞式压力计，受到重力加速度影响、空气浮力影响、温度影响和活塞有效面积随压力改变的误差修正，以下就从这几点进行阐述：

本文首先以静压式油罐计量系统（ＨＴＧ）原理作了简单介绍，然后指出导致该方法液位测量误差偏大的主要原因是温度和压力，最后详细讨论 度与压力各自对液位测量误差的影响，文末给出了修正公正，对于理解大型油罐中普遍存在的密度分层现象有重要意义。

提出了铁路隧道断面（包括地道，弯道和坡度）的放样扫描方法，详细分析了放样扫描的误差来源，并逐一给出了修正方案，对修正后的放样公式作了精度分析，放样精度达到了预定的要求。

文章针对长度光栅测量系统的误差来源、特点提出了二次比对、拟合的修正方法。在文章所论述的方法中,通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波长;将生成的修正公式赋进长度光栅测量系统的程序中完成误差自动修正。文章提出的光栅测长系统的误差修正方法原理简单、实用、修正精度高。对于三坐标测量机、测长机、万工显等精密直线位移平台都具有借鉴和参考价值。

为学习旋转变压器角度转换、测量和通过双通道粗精组合提高测量角度精度的原理和技术,从工程应用角度出发,针对精密无刷旋转变压器,采用混合型单片机C8051F021为处理器,利用芯片内集成的ADC、DAC等实现激励信号产生、正余弦信号测量、轴角计算和双通道粗精组合,完成实时、高精度轴角测量。经实验测试,该装置的测量误差控制在0.05°以内。

根据机器人拆卸导弹发动机注药瓣模时对精确定位的要求，设计了一种基于视觉的瓣模螺栓识别定位方案。在此方案的基础上进行实验，实验结果表明：应用此方案能准确识别所有瓣模螺栓，定位误差均在1mm范围内，最大误差为0．750mm，满足机器人脱模装置的定位要求。为了保证拆卸瓣模时设备互不干涉，利用最小二乘法和Matlab对实验数据进行拟合仿真处理，求出工作转角α。应用实验数据和数据处理的结果控制机器人拆卸瓣模，检验视觉定位和数据处理的可靠性。分析视觉定位误差的主要来源，提出了适合工程应用的误差修正方法，有助于提高机器人脱模的可靠性。