为了提高电液伺服阀滑阀副的配磨效率,需要缩短叠合量测量时间。采用气动流量法,设计了一套测量气路和对应的测量流程,通过减少阀芯驱动行程实现叠合量快速气动测量。针对气动测量过程中出现的测量压力变化和相邻阀口气体泄漏问题,采用流量转换和曲线相似度分析的方法,获得恒定压力下的流量-位移曲线及相应的叠合量计算方法。通过实验和工程实践验证,该叠合量测量方法精度高、速度快。

为了提高小流量电液伺服阀叠合量的测量效率，实现叠合量气动测量过程的自动化，分析了电液伺服阀叠合量气动测量方法的原理及特点，采用压力式和流量式气动测量方法实现阀芯自动对中和叠合量自动精确测量。从机械结构设计和控制系统方案上提出了自动化策略，研制了一套小流量电液伺服阀叠合量气动测量台，实现叠合量高精度测量的全过程自动化。通过实验和工程实践验证，该测量台的叠合量测量精度达到±0．5μm，且重复精度达到±0．5μm。