介绍了压电式四臂微加速度计的工作原理，耦合场分析原理以及ANSYS软件在压电分析中的具体应用。以压电式四臂加速度计为例，使用ANSYS软件对其进行了静态，模态等分析，得出了压电层厚度、悬臂厚度、长度对加速度计灵敏度的影响。在模态分析中得出了加速度计的前三阶固有频率和与之对应的振动形态。本文的结果可以直接应用到加速度计结构的优化设计。

介绍了现有四臂压电式加速度计的工作原理及ANSYS软件在压电式加速度计方面的应用。将传统的四臂压电式加速度的悬臂梁改用沟槽式结构。并使用ANSYS软件进行仿真分析，发现沟槽结构的加速度计的灵敏度可以高达0．6335mV／gn，远高于平坦基体表面结构式加速度计的灵敏度（0．28195mV／gn）。