分析了用直接法和比较法测量覆层测厚仪校准厚度片厚度的不确定度来源，并就使用两种测量方法所得结果的不确定度进行了评定。

非球面技术广泛的应用于各种光学系统中。在非球面技术中,非常关键的一项就是非球面面形的测量。本文根据不同的测量原理对各种测量方法进行了优缺点的对比,进而对未来非球面面形测量技术的发展方向做出了预测。