将散斑干涉与CCD图像处理技术相结合，提出了一种测量空间直线度误差的新方法，该方法利用待测工件的直线度误差使毛玻璃移动微小位移，通过散斑条纹的变化求出位移变动量。由导出的直线度误差与位移的关系，对工件的直线度误差进行了测量，测量结果为7．420μm。实验结果表明，此种方法测量精确度高，具有一定的使用价值。