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耦合差动式纳米级分辨力位移测量激光干涉仪

作者: 赵美蓉 陆伯印 来源:天津大学学报 日期: 2023-10-27 人气:6
耦合差动式纳米级分辨力位移测量激光干涉仪
介绍了一种新型的主级精度位移测量激光干涉仪的设计原理与应用,该干涉仪以独特的光学原理被命名为“耦合差动式激光干涉仪”,其结构简洁紧凑,性能稳定,光路布局对称性好,不存在死光程,光程差倍增,容易装调,符合阿贝原则和结构变形最小原则,在10mm测量范围内,获得了λ/800的分辨力和纳米级的测量精度。
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