碧波液压网 欢迎你,游客。
登录
注册
菜单
门户
文章
液压传动
气压传动
机械工程
测量与控制
期刊
介质与基础理论
液压件与机具
工业液压传动
液压控制技术
水压与液力传动
车辆与工程机械
气动与密封
故障诊断与检测
现代设计方法
机械工程
教程
手册
液压设计手册
机械设计手册
机械设计计算手册
表面工程技术手册
新版机器人技术手册
其它
论坛
登录
注册
门户
>
作者文章列表
> 陆伯印
耦合差动式纳米级分辨力位移测量激光干涉仪
作者:
赵美蓉
陆伯印
来源:
天津大学学报
日期: 2023-10-27
人气:6
介绍了一种新型的主级精度位移测量激光干涉仪的设计原理与应用,该干涉仪以独特的光学原理被命名为“耦合差动式激光干涉仪”,其结构简洁紧凑,性能稳定,光路布局对称性好,不存在死光程,光程差倍增,容易装调,符合阿贝原则和结构变形最小原则,在10mm测量范围内,获得了λ/800的分辨力和纳米级的测量精度。
关键词:
纳米计量
位移测量
激光干涉仪
纳米级精度
点击阅读
共1页/1条