以精密光束偏离装置的棱镜组件为有限元模型，进行了光机热集成分析．对棱镜组件的结构强度进行了校核，分析了机械载荷作用下的镜面变形；通过模态分析，给出了装置的动态特性和镜面面形振动幅值的变化情况；最后对棱镜的热弹性变形进行了分析，对棱镜的光学性能进行了评价．结果表明：棱镜组件的最大变形在10nm量级，最大应力为0．403MPa，应力和应变相对于结构的准确度要求和材料的许用应力具有较大的裕度；前后棱镜组件的固有频率都大于550Hz，装置具有良好的动态性能；通过对比棱镜在热-结构耦舍分析和机械载荷下的分析结果，说明热效应对棱镜表面变形的影响远远大干机械载荷的影响。装置使用时必须采取严格的温控措施。

介绍了BBG602棱镜组的加工工艺.在BBG602棱镜组的加工过程中,由于影响棱镜组精度的因素很多,因此棱镜组胶合过程的控制贯穿了整个生产过程.通过对棱镜组转像规率的分析,进一步了解了胶合过程对指导棱镜组加工的重要性.通过用该方法加工棱镜组,实践证明是合理可行的.