利用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和表面探针测试，分析了采用离子束溅射刻蚀技术制作的石英微透镜陈列器的表面微观形貌，讨论了引起微透镜表面缺陷的原因及所采取的改善表面形貌的措施，研究了采用不同层次的光致抗蚀剂微透镜图形的固化技术后，经离子束溅射刻蚀制作出的微透镜陈列器件的表面形貌差异，定性给出了表面探针测试的适用范围，此外还介绍了对所制样品所做的几项主要的处理操作。

为了提高可见光CCD图像传感器的填充因子从而提高CCD的信噪比,在石英基片上制作了516×516元的微透镜阵列.本文对石英微透镜阵列的制作工艺过程进行了详细讨论.最后的测量结果表明所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓和较好的几何尺寸均匀性.其实测有效孔径比可达到92.8%,极大提高了微透镜阵列的聚光效率.