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耐高温合金薄膜压力传感器的设计及仿真分析

作者: 谭苗苗 来源:机械工程师 日期: 2020-10-30 人气:181
耐高温合金薄膜压力传感器的设计及仿真分析
研制高温恶劣环境适用的压力传感器具有重要的工程实际意义。文中设计了以蓝宝石为弹性膜片,溅射合金薄膜为应变电阻的耐高温压力传感器。通过有限元软件计算分析了弹性膜片的应力应变分布,并对膜片厚度进行了优化设计。
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