本文简单地介绍了CS—Ⅰ型电镜低温工作台的用途及技术规格。该系统可以使样品速冻,并在送样、制备及观察过程中保持真空和低温,最大程度地阻止样品形成冰晶,以便在电镜内观察到接近于自然状态的含水样品。CS—Ⅰ型低温工作台特别适宜于观察生物及其他的含水试样,可配于多种型号的扫描电镜。

配扫描电子显微镜的波长色散X射线谱仪(简称WDX或WDS),近来在微观分析领域吸引较多的关注.这其中很大原因是新一代高精度自动聚焦平行光X射线波谱仪的推出.这种波谱仪具有独特紧凑型设计,尺寸小;去掉了传统的罗兰圆光学系统,结构较简单;与扫描电镜的接口和能谱仪的接口一样大,可以安装在绝大多数的扫描电镜上.

扫描电子显微镜所成的像是由分解为近百万个的像元逐点依次记录而成的,因而使它在观察表面形貌的同时可进行成分和元素的分析。对于三透镜式扫描电子显微镜,还可以通过电子通道花样进行结晶学研究[1]。近几年,对一台八十年代初国产的BSM-25型扫描电子显微镜作了几方面的改进工作,其中包括高压纹波的减小、高亮度阴极的使用等措施[2,3],使原来15nm的极限分辨率提高到6nm左右;另外在自行研制的YWD-1A型扫描电镜上又进行了低真空条件下的高能电子反射衍射仪研究实验,成功地对一些材料的表面结构进行了分析确定[4]。近来,经过设计,在BSM-25型扫描电镜上安装并调试成功了美国TRACOR NORTHERN公司生产的X线能谱仪。由于安装位置的限制,能谱仪只能在样品处于低位时应用,为此对能谱仪的测量准确性进行了验证。

扫描电镜这种大型精密分析仪器。主要用于样品的形貌观察及作成份分析,目前我国的扫描电镜主要限于样品的静态特性的观察和分析。而材料科学研究的一个重要方面是对材料进行动态研究,这项工作在我国急需广泛开展,例如在电镜内进行原材料的质量、构件的强度动态的力学试验;或观察研究材料的显微裂缝及超显微裂缝对强度的影响。利用电子显微镜的高分辨率及高放大倍数独特优点,加上材料力学的拉伸试验台。可以进行金属、非金属、陶瓷、生物、纺织纤维等材料的精密力学测试以及它们的工艺流程的动态监测。依据我们设计各种电镜试样台的经验,最近为KYKY-1000B型扫描电镜研制成

本编程扫描信号发生器是为KYKY2000型扫描电子显微镜开发研制的。其主要特点是除了输出送往电镜镜筒及照相CRT的模拟扫描信号外，还输出送往图象存贮器的数字地址信号。发生器的各种扫描方式及状态完全由软件程序来控制，使硬件结构大大简化，且便于与主计算机通讯，实现各种自动控制功能。

扫描电镜中X光能谱仪的重耍组成部分鲤漂移硅si(Li)探测器及爆效应晶体管需要用液氮冷却，目的是防止握漂移硅中的握反向扩散和降低热噪音。杜瓦瓶内的液氮通过一个称为冷指的金属棒使塌效应晶体管和探测器冷却。杜瓦瓶长期使用后具空度将自然下降，液氮消耗量增加，不仅增加保养负担，也会影响仪器的使用性能，必须及时恢复其真空度。若返原厂修复，费用昂贵。我们利用实验室现有的具空喷镀仪的具空系统对杜瓦瓶重抽具空，实践证明，效果很好。

中国科学院科学仪器厂制造的Dx一3A型扫描电镜，配有双道x光分光晶体光谱仪，可对试样进行微区成份分析。在进行定量分析时，谱仪的操作、数据的采集和计算是很繁杂的。国外先进的电子探针显微分析仪已实现了谱仪操作的自动化及连机数据处理。通常是采用内存容量相当大和运算速度相当快的小型计算机来实现的〔1〕。在某些特定的应用中，我们尝试用内存容量仅为数K的单板计算机来解决一些问题。例如，我们需要大量测定红外探测器材料Hgl--xCdXTe晶体的x值，并评价x值的横向分布均匀性。这里试样中元素的种类是已知的，各元素的大致含量也是知道的，(需耍测定精确值)而每一个样品上要分析的点数很多，样品数也是大量的。为完成这些重复性的操作和计算，我们用Z--80单板机连接于DX--3A电镜的X光谱仪上。

针对ＤＸＳ－１０Ａ扫描电镜成像过程中，影响成像质量的相关因素，从样品及样品制备工艺、真空系统、电子光学系统、讯号接收系统等方面进行了分析，并就成像相关因素的处理方法进行了讨论

我单位自1985年购进日本电子公司JSM-T300型扫描电子显微镜，至今已工作23年，该仪器使用率很高，在我校的教学和科研中发挥了重要作用。在使用过程中，仪器先后发生了一些故障，大多由我室技术人员自行解决。现将最近出现的一次故障维修经验总结如下，以供拥有相同型号电镜用户参考。

S一800扫描电镜是「J本HIT八CHI公司80年代推出的新产况;.’j该公司其它型号及其它厂家的扫描电镜相比，最突出的特点是:采川了冷一场发刘塑(F型)电r枪;灯丝为钨单品，亮度高，从而大人地提高了电镜的分辨率。中国科J学院植物研究听开放实验室J二87年购进一台S一800扫描电镜因其具有极高的分辨率(在国内目前使用及定型月产的扫描电镜中，分辨率是最高的)，安装验收后一直满负菏运转承担了植物所内外数十个单位的课题任务。为各类研究项目提供了上万张高质量的电镜照片，曾多次获得国内外植物学家、电镜专一家的一致好评。