文章对光外差、移相、正弦相位调制等几种常见的纳米精度干涉测量技术进行了综述,并介绍了上海光机所的相关工作.

介绍了一种基于光散射原理的便携式激光表面粗糙度测量仪。它采用半导体激光器光源，以元心光路结构接收、处理经粗糙表面调制的散射光带，成功地解决了粗糙度测量精度高低与测量范围大小相矛盾的问题。仪器结构简单、操作方便、测量效率高，精度能满足生产实际的需要。

利用半导体激光器作为相干照明光源，通过改变半导体激光器温度来改变其波长，实现了步进相移干涉计量。在理论分析和实验研究的基础上建立了半导体激光器温控调频相移干涉仪系统，该相移干涉体积小，结构简单，且工作可靠。

介绍一种大型机械零部件孔用同轴度测量系统.系统采用单模光纤的尾纤半导体激光器作光源的激光准直系统,并为测量提供稳定的基准线.同轴度由多个截面的光斑中心坐标值和圆周采样数据按一定的方法计算.

阐述利用半导体激光的频率变化和波长变化测量干涉仪光程差的基本原理，探讨一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法，即端点干涉测长法的原理，推导这种方法测量长度的公式，指出这种方法区别二其它干涉测长方法的独特优点，最后讨论测量中的注意事项以及需要深入的研究的问题。

设计了一套光学系统——以红光点状光斑半导体激光器作为发光光源，光束通过光阑。再经过鲍威尔棱镜形成扇形光幕，然后经过菲涅尔透镜形成一道光强分布均匀的平行光幕。介绍了鲍威尔棱镜和菲涅尔透镜的工作原理，给出了系统示意图，对光幕光强分布进行测试，给出了光强分布图，最后对结果进行了分析。

为了简化LD光场准直柱面透镜繁琐的理论设计过程,便于进行实际操作,利用Matlab计算建模的方法,计算理想准直柱面透镜上的各个离散点的坐标值,通过拟合或二次曲面方程逼近的方法来获得准直柱面透镜的面型参数。分析表明,二次曲面柱面透镜非常适合做半导体激光器的准直透镜,可以根据具体需要来选择相应的面型。相比于其他方法,该方法简单直观,易于设计和加工,参数的优化调整迅速,可以根据加工工艺的难易程度来选择合理的透镜参数。