<正> 单色仪是同步辐射光束线中的关键性仪器,光栅和非球面反射镜是单色仪的关键光学元件,这些光学元件的设计、加工和检验提出若干挑战性技术要求.德国柏林同步辐射电子存储环实验室与卡尔·蔡司厂合作,早在八十年代就开始研制同步辐射光束线的单色仪,他们研制的SX700型平面光栅单色仪已在同步辐射光源工作多年.本文将概述SX700型单色仪的研制过程和改进.重点介绍SX700型单色仪结构和系统参数.

现代致动器对于德国工业中出口产品的行业至关重要，因为它通过其竞争能力发挥决定性作用。特别是对于配有压电、磁致伸缩和电致伸缩固体变换器的新型致动器，对于具有形状记忆合金、电磁流变和电致伸缩流变液体的致动器以及电化学致动器，微型致动器和电磁小型驱动机构，存在明显上升的趋势。

<正>采用微机械加工技术,可以制作各种各样的小型探测器和高度集成化的微系统.微机械加工的特点是可采用比用半导体微细加工技术的精密加工自由度还高的加工工艺,制作立体的微型结构.此外,还有可制作机械性能更加灵活的结构和可批量生产等优点.通过将各种探测器和致动器集成化,可构成复杂的微系统.针对小型化、高集成化和高精度化的要求,加工精度及器件的尺寸等已经开始向纳米级方向发展.随着从微米级向纳米级尺寸的变化,在光学领域也正在展开定域的近场光学器件的研究.这并不是说一味地缩小器件就是好事,问题是经过缩小的器件的性能要得到提高,或者赋与器件新的功

1 引言 对于自身具有调焦功能的光学元件,人们曾做过大量的研究.譬如无需随着机械运动进行调焦的光学元件,有利用液晶折射率变化的液晶透镜和采用电光材料的EO透镜等,都是利用了电控制光学特性的方法.还有利用微加工技术的方法,通过利用静电力和致动器等使薄片结构的光学元件表面产生机械变形、使之具有调焦功能的可调焦光学元件.

<正>目前,各种低倍率镜头,如标准镜头、中望远镜头、望远镜头均可从市场上获得.这类商品中最大摄影倍率在1/2或等倍,并具有良好的成像性能.近年来,很有特点的变焦镜头不断出现,进而对其成像性能的提高一直寄予厚望.1 对快速变焦镜头的要求对快速变焦镜头要求的条件:①大的摄影倍率;②变焦时不产生焦点移动,确保不受变焦位置/聚焦位置影响的良好成像性能.2 快速变焦镜头的光学设计

<正> 1.引言本文对高热负载反射镜面形畸变测量问题给与讨论,有时是为了要了解暴露在高亮度同步辐射光束下光学表面的真实质量而要在线测量的。现在已经认识到高热负载下反射镜的畸变对第三代同步辐射光源是一个相当严重的问题,以及对提高第二代同步辐射光源,改善其发射衰减、较高电流和附加新的装置等也是一个相当严重的问题。为了减低反射镜的畸变业已采取如下措施:采用良热导或低膨胀材料、低温冷却、增强热交换、喷气冷却或者其它方法等。此外,也可采用自适应光学方法,使畸变的表面重新再回到初始表面的形状。用有限元法通过模型计算给出了畸变的理论推算值。然而,任何装置当受到高功率同步辐射束照射时,其最后性能最终将由实验测量来确定。因为实际边界

尽管大多数工业观察家都预测 在未来的5年里微机电系统(MEMS)的销售量将有可能迅速增长,然而,现在只能期望已经建立完善的MEMS生产线,诸如气囊加速计,汽车发动机绝对压力 传感器,血压传感器以及热喷墨印刷机头等的销售额会有一定的增长.本文对MEMS的商业机遇做了评估,预测了未来市场的规模,并讨论了未来技术的挑战性.

<正> 近期,随着光电子、海量存储、半导体以及生物医学的快速发展,人们对具有高分辨率、长期稳定性的运动控制系统的要求越来越高。过去,应用在光学领域的运动控制系统主要依靠步进电机、直流伺服电机和铁电致动器(主要是指压电晶体或是电致伸缩体)。这些装置由于具有高的重复精度和高的自动化程度,因而主要应用在装配生产线及机械加工过程中。

目前全球科研人员正致力于研究一些关键工艺技术，以便能产生下一代光学网络标准组件，即全光开关。在该领域，微电子机械系统具有很大的发展潜力，美国的一些公司已经开始了一些项目的研究，并期望率先使这些技术实用化。然而有这种宏伟期望的并非唯独美国一家，最近两家日本公司在日本东京举行的国际光学展览会上展示了他们在这方面的研究成果。

<正> 在过去的35年中,电子技术发展十分迅猛.电子工业正凭借它的优势,从每18个月使一个微芯片上半导体管数翻一番的速度运行着,并引起了电子工业的革命.在一个邮票大小的范围内制造出数百万个微单元器件已引起手提电话和个人计算机等制造领域的极大兴趣.利用微电子材料和工艺,可构造出微梁、槽、齿轮、薄膜以及电机,微电机能用来驱动原子以及打开或关闭激励微流量液体的微阀.这些机械元件的大小要用微米来计算.并且象半导体工业一样,一次能制造出数百万个元件.