一种基于拍波干涉原理的无导轨大尺寸测量系统已研制成功.它以双纵模热稳频He-Ne激光为光源,其两纵模生成于同一振腔内具有天然同轴的优势,在整个测量范围内不会发生光束分离.两纵模频差约790MHz,拍波波长约380 mm.其稳定度(即拍波波长稳定度)与激光频率稳定度相同,在无空调并有冷热气流吹拂时可保证不低于10-7.两纵模频差以拍波节点为对准标志,采用自适应滤波和小波锐化器有效滤除噪声,从而提高了节点检测的测量精度.测量起点和终点到最近节点的距离由同一光源分出来的双频干涉仪精确测定,分辨力为0.08 μm.经实验验证:系统的测量范围大于20m,测量不确定度优于30 μm/10m.

目前对精细表面下细小缺陷的无损探测已成为光电检测技术研究领域中的一项难题.根据法拉第电磁感应定律和磁光效应,提出了一种磁光/涡流成像技术,以实现对精细表面下细小缺陷的可视化实时无损检测.文章从基础理论着手,重点对磁光/涡流成像技术的光学系统、脉冲激励、图像采集处理等方面进行了创新和探索.

介绍了一种根据电涡流效应和法拉第磁光效应设计出的磁光／涡流显微成像检测系统，实现了亚表面下细小缺陷的可视化。本系统选用执行效率高的VC作为开发工具来设计图像处理软件，并采用VFW技术实现了对该缺陷图像的实时获取。试验结果进一步验证了系统设计的正确性。

介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密检测的方法及装置。该装置的工作怀精密测仪，它采用一稳频双纵模激光作为光源，其拍频步率在６００ＭＨｚ－１ＧＨｚ之间，拍频波长为５００－３００ｍｍ，稳定度为１×１０＾７－１０＾－８。该系统确定整数倍拍频波长节点的精度为０．０５ｍｍ，测量两节间距离的分辨为０．０００１ｍｍ。

分析了无导轨大尺寸测量技术的现状，指出采用He-Ne激光器进行多波长干涉小数重合江测量大尺寸能较为有效地解决无导轨大尺寸测量问题，在分析现有的两种He-Ne激光多波长干涉无导轨大尺寸测量技术和特点的基础上，了一种稳频系统简单可靠，频率及频差稳定（在工业现场环境），合成波长合适，测量过程简捷的双纵模激光精密测距仪，它完全满足对大尺寸工件进行测量的精度及环境的适用性的要求，在其在50m测量范围内精度可达±（50＋1．5×10^-6L) μm，并仍可用作常规的双频激光干涉仪。