<正> 扫描电子显微镜二次电子象具有分辨率高、景深大等优点,是三维表面形貌观察的常用模式。但二次电子象是三维图形在垂直于入射电子束平面的投影,因此用单帧图象不能反映出复杂表面的三维信息。用体视学的方法,根据一对相关二维图象中的结构参数可以定量计算出三维几何结构,但对复杂的图象计算费时太多,而且存在定标上的困难。因此,对表面复杂、无规物体的三维图象的定量描述和分析是迫切需要解决的课题。

<正> 自一九八五年,Binnig与斯坦福大学的Quate和IBM公司苏黎士实验室的Christoph合作推出了世界上第一台原子力显微镜(简称AFM)以来,AFM的研究及应用迅速扩展。它不仅象扫描隧道显微镜那样能从原子尺度上对导体、半导体表面而且还能对非导体的表面进行成像,拓宽了STM的应用范围。