针对一种纤毛式微机械电子（MEMS）矢量水听器的工作原理进行分析,通过分析得出该矢量微传感器的定位误差主要来源于纤毛柱体的偏差。通过有限元仿真分析得出纤毛柱体的偏差对矢量水听器在两个方向上的灵敏度有较大影响,理论计算出在纤毛偏移下2个轴向灵敏度度误差为9.74%。对水听器结构进行轴向灵敏度测试,测出x向灵敏度为0.683mV/g（其中g为重力加速度）,y向灵敏度为0.755mV/g,两个方向上灵敏度相对误差为9.5%,与仿真结果接近。

引入负声源,导出了凹球面状环形换能器声场的简洁表示式.通过数值计算,研究了凹球面状环形阵列的阵元几何尺寸、阵元分布和阵元数及激励信号等因素对声场特征的影响,分析了此类阵列的相控聚焦效果.

提出了一种基于压电陶瓷的新型固液一体化作动器。该作动器通过两个压电陶瓷泵协调工作，由压电陶瓷提供动力，液压油为介质，用泵体代替普通一体化作动器中的单向阀，克服了单向阀的响应频率瓶颈，从而有效地利用了压电陶的高频响应特性，同时集成的一体化结构设计，避免了普通液压作动器的分布管路。对设计的一体化作动器进行了建模仿真，得到仿真曲线，结果表明废作动器相对体积小，输出位移大，响应频率高，承载能力强，动态特性好，并且实现了全电工作。

对国产快走丝切割机电极丝横向振动的测量方法进行了研究，在不同点同时用光电法和轻压接触法进行了测量。分析比较了测量结果，对利用轻压接触法实施电极丝的振动主动控制弹性元件参数，从测量的角度进行了实验分析和初步的理论探讨。

我们用一台干涉仪，以机械方法使光程发生变化，然后和晶体电光效应引起的的光程变化相比较，提供了时种确定晶体电光系数相时符号的简单方法。

简要介绍了激光扫描声光学显微镜，机械扫描声学显微镜，Ｃ模型扫描声学显微镜的工作原理、结构和特性，并对在电子工业中的应用进行了讨论。

三维压电陶瓷扫描器是扫描探针显微镜的关键部件。本文作者制作了一种复合型三维压电陶瓷扫描器，并对扫描器的性能进行了检测。当激励电压为±４００Ｖ时其扫描范围达到１３μｍ×１３μｍ。其中ｘ，ｙ方向的非线性度小于０．３６％，ｚ方向的非线性度小于０．１４％。这种扫描器被用于扫描近场光学显微镜探测系统中。

针对静态傅里叶变换光谱仪中干涉条纹采集与处理对速度快的特殊要求,设计了用现场可编程门阵列（FPGA）实现干涉图采集和频谱复原系统,CCD采集干涉条纹后进入FPGA进行切趾、傅里叶变换、取模等处理后得到入射光的频谱信息,同时对干涉图切趾函数的选取进行探讨和比较。最后,分别采集中心波长635 nm、650 nm7、80 nm、808 nm8、50 nm半导体激光器通过楔形干涉具的干涉条纹,并将FPGA中频谱复原结果与Avan-tes公司的光纤光谱仪测得结果进行比较,误差在2.5%以内。

由于压电型电液伺服阀的阀芯采用两个对顶压电驱动器驱动，且压电驱动器固有的迟滞非线性，使两压电驱动器的输出具有很强的耦合作用，不能同步，从而使阀芯的运动速度、精度和平稳性降低。采用单纯的PID控制可以在一定程度上实现解耦控制，但其控制精度较低。提出了一种基于DRNN网络整定的PID控制器，它根据DRNN网络辨识的被控对象的Jacobian信息，在线调整PID控制器的比例、积分和微分参数，从而使DRNN网络整定的PID控制器很好地实现了阀芯的解耦同步控制。实验结果表明DRNN网络整定PID控制的综合性能优于常规PID控制。

为进行液压流体脉动的主动消振，设计了基于压电陶瓷的直接驱动伺服阀，并利用AMESim液压仿真软件对其进行了建模与仿真，并在伺服阀实验台上对其进行了静态试验。仿真与试验结果表明，所设计的压电陶瓷直接驱动伺服阀满足液压流体脉动主动控制要求。